MEMS陀螺仪的原理及应用案例分析 1. 什么是MEMS陀螺仪 MEMS陀螺仪是一种基于微机电系统（MEMS）技术的惯性传感器，用于测量角速度。它由一个微小的振动器和一些微小的电极组成，通过测量振动器在不同方向上的振动来检测转动。由于其小巧、低功耗和高精度等优点，MEMS陀螺仪被广泛应用于飞行器、导航系统、汽车稳定控制、医疗设备等领域。 2. MEMS陀螺仪的工作原理 MEMS陀螺仪的工作原理基于科氏力效应，即当一个物体在旋转时，它会受到一个垂直于旋转轴的力。在MEMS陀螺仪中，一个微小的振动